섬서성 Yunzhong 산업 개발 유한 회사
스퍼터 링 타겟

탄탈은 99.99% 평면 대상 대상

제품 이름: 탄탈 스퍼터 링 타겟 표준 실행: B708 98 사양: 원형 대상 (25-400) mm (3 월 28 일) mm의 직경 * 두께 평방 대상 사양: m m * m m 폭 (200-2000) (10-600) m m * 길이 허용 오차의 두께 (1-12.7):의 직경 공차 + /-0.254...

Products Specifications:

제품 이름:탄탈 스퍼터 링 타겟

표준 실행: B708-98

사양: 직경의 원형 대상 (25-400) mm (3 월 28 일) m m * 두께

정연 한 대상 사양: m m * 폭 (200-2000) (10-600) m m * 길이 m m의 두께 (1-12.7)

허용 오차:의 직경 공차 + /-0.254

브랜드: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5 w), RO5255 (Ta-10W)

순도: 99.9%

Recrystallization: 95% 이상

입자 크기: 최소 40 m

표면 거칠기: Ra 0.8 최대

평탄도: 최대 0.1 m m 0.10%.

탄탈 격판덮개 대상

화학 특성도

Gr

메인

다른 최대 %

Nb

Fe

Ni

W

Ti

Nb

O

C

H

N

Ta1

상기

——

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta2

상기

——

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

상기

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

상기

17.0~23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

Ta2.5W

상기


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

상기


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01




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