섬서성 Yunzhong 산업 개발 유한 회사
스퍼터 링 타겟

탄탈 회전 스퍼터 링 타겟

제품 이름: 탄탈 튜브, 탄탈 세관 실행 표준: B521 98 ASTM 브랜드: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5 w), RO5255 (Ta-10W) 사양: outdiameter 1.0-150 m m 두께 0.2-5.0 m M 길이 200 m m-6000 m m 화학 성분 사용자가 특별 한 요구 하는 경우, 양측은 합의...

Products Specifications:

제품 이름: 탄탈 튜브, 탄탈 모 세관 튜브

표준 실행: B521 98 ASTM

브랜드: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5 w), RO5255 (Ta-10W)

규격: 직경 1.0-150 m m

두께 0.2-5.0 MM

길이 200 m m-6000 m m

화학 성분

牌号

몐 구성

다른 최대 %

Nb

Fe

Ni

W

Ti

Nb

O

C

H

N

Ta1

상기

——

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta2

상기

——

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

상기

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

상기

17.0~23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

Ta2.5W

상기


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

상기


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

경우 사용자가 특별 한 요구 사항, 양측 합의


표 1입니다. 외부 직경 및 벽 두께 허용 오차

OD,inch(mm)

외경 공차, inch(mm), +

벽 두께 허용 오차, %, +

andlt; 1 (25.4)

0.004 (0.102)

10

1 ~ 1.5 (25.4 ~ 38.1)

0.005 (0.127)

10

1.5 ~ 2 (38.1 ~ 50.8)

0.006 (0.152)

10

2 ~ 2.5 (50.8 ~ 63.5)

0.007 (0.178)

10

2.5 ~ 3.5 (63.5 ~ 88.9)

0.008 (0.254)

10

표 2입니다. 기계적 성질 (단련)

등급

궁극 장력 강도,

(MPa) 2 인치 당 파운드


최소 항복 강도,

2 (MPa) 인치당 파운드


신장, 분 %

1 인치 (25.4 mm) 마크


RO5200/RO5400

30000 (207)

20000 (138)

25

RO5252

40000 (276)

28000(193)

20

RO5255

70000 (481)

60000 (414)

15

RO5240

40000(276)

28000 (193)

20

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